分析標(biāo)準(zhǔn)氣體的方法很多，但常用的主要有：氣相色譜法、化學(xué)發(fā)光法、非色散紅外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。
　　一、氣相色譜法:
　　氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤狻?/span>氦氣、一氧化碳、二氧化碳等無機(jī)氣體，甲烷、乙烷、丙烯及C3以上的絕大部分有機(jī)氣體的分析。通過直接法、濃縮法、反應(yīng)法等樣品處理技術(shù)的應(yīng)用，分析的含量范圍為10-9~99。999%。所以，氣相色譜法也是分析標(biāo)準(zhǔn)氣體中應(yīng)用多、普遍的方法。
　　氣相色譜儀主要由氣路系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、柱恒溫箱、色譜柱、檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。 用氣相色譜法分析標(biāo)準(zhǔn)氣體，要想獲得準(zhǔn)確可靠的分析結(jié)果，首先建立分析方法，選擇合適的操作條件和操作技術(shù)。建立分析方法可從以下幾方面考慮。
　　二、化學(xué)發(fā)光法
　　化學(xué)發(fā)光法是利用某些化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象對(duì)組分進(jìn)行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡(jiǎn)單方法、快速等特點(diǎn)。因此，適用硫化物、氮氧化物、氨等標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析。
　　三、非色散紅外分析法
　　非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測(cè)器測(cè)量混合氣體中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等組分的含量。
　　非色散紅外氣體分析器主要由紅外光源、試樣室、濾波器、斬波器、檢測(cè)器、放大器及數(shù)據(jù)顯示裝置組成。
　　檢測(cè)器是儀器的交鍵部件，紅外檢測(cè)器分成熱檢測(cè)器和光子檢測(cè)器兩種類型。熱檢測(cè)器是一種能量轉(zhuǎn)換器，可以把熱能轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，電信號(hào)經(jīng)放大后，輸入數(shù)據(jù)裝置。光子檢測(cè)器接受紅外輻射，將半導(dǎo)體中的電子從非導(dǎo)電能級(jí)激發(fā)到導(dǎo)電能級(jí)，在這一過程中半導(dǎo)體的電阻有所降低。所以半導(dǎo)體檢測(cè)器比熱檢測(cè)器響應(yīng)快。
　　四、其它分析方法：
　　1、微量氧分析儀
　　在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準(zhǔn)確測(cè)定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準(zhǔn)確測(cè)定高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點(diǎn)之一。
　　2、微量水分析儀
　　微量水分也是評(píng)價(jià)高純氣體質(zhì)量的主要指標(biāo)之一。幾乎所有的高純氣體都對(duì)水分有嚴(yán)格的要求，準(zhǔn)確測(cè)量和嚴(yán)格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質(zhì)量。